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            日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器

            日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器

            產(chǎn)品型號: AP160M

            所屬分類:壓力控制器

            產(chǎn)品時間:2024-09-10

            簡要描述:日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M
            AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。

            詳細說明:

            日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

            半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備

            AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。

            最大控制壓力約為650kPa,最大控制流速為100kPa壓差,有兩種接觸類型,即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調(diào)制來控制比例電磁閥,AP160M模型可以提高響應(yīng)度并消除滯后現(xiàn)象,因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達到設(shè)定壓力。

            壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品,氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成,并且與惰性氣體,腐蝕性氣體,危險氣體等所有氣體兼容。除了半導(dǎo)體工藝氣體以外,也是可能的。

            日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

            規(guī)格

            模型AP160M
            主要用途對于半導(dǎo)體
            目標(biāo)氣體半導(dǎo)體工藝氣體就座氣體
            入口壓力500kPa以下
            耐壓小于1000kPa
            壓力設(shè)定需要計算機等輸入的壓力設(shè)定值
            控制方式比例電磁紙漿批發(fā)
            控制壓力0-500kPa
            最大流量當(dāng)壓差為100 kPa時,有兩種類型,即500 cc / min和3000 cc / min。
            響應(yīng)時間1秒鐘達到設(shè)定值
            輸入信號0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉
            R485
            外部傳感器輸入(4 ?? 20A可能)
            輸出信號報警輸出RS485.0-5VDC
            管件1/4〃VCR等效
            閥座泄漏10-6Pa ? m3 /秒以下
            準(zhǔn)確性±5kPa(在800kPaFS時)
            電源電壓24VDC±10%
            目前的消費200mA以下
            工作溫度0-50℃無凝結(jié)
            面之間的外部尺寸寬36×深46×高60mm
            壓力傳感器是(內(nèi)置)
            顯示設(shè)定裝置沒有裝備

             

             


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