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            日本okk晶圓真空貼片機OVM系列

            日本okk晶圓真空貼片機OVM系列

            產(chǎn)品型號:

            所屬分類:晶圓貼片機

            產(chǎn)品時間:2024-09-09

            簡要描述:日本okk晶圓真空貼片機OVM系列
            近年來,越來越多的情況是在正面和背面上形成大的臺階,例如凸塊,MEMS,TAIKO&#174;* 1和背面安裝,并且不可避免地會由于薄化而使晶片翹曲。在傳統(tǒng)的輥涂方法中,由于在粘貼過程中的壓力不均勻而產(chǎn)生了諸如晶片上的應(yīng)力和空隙殘留物之類的問題。

            詳細(xì)說明:

            日本okk晶圓真空貼片機OVM系列

             

            概述

             

            近年來,越來越多的情況是在正面和背面上形成大的臺階,例如凸塊,MEMS,TAIKO®* 1和背面安裝,并且不可避免地會由于薄化而使晶片翹曲。在傳統(tǒng)的輥涂方法中,由于在粘貼過程中的壓力不均勻而產(chǎn)生了諸如晶片上的應(yīng)力和空隙殘留物之類的問題。

            我們的真空粘貼設(shè)備解決了這些問題,并實現(xiàn)了無氣泡和低應(yīng)力的粘貼。
            此外,通過量化與常規(guī)粘貼設(shè)備難以實現(xiàn)的與粘貼相關(guān)的各種參數(shù),并將其合并到配方中,我們實現(xiàn)了一種工具,該工具可以無張力,并且可以通過抑制工人之間的差異而粘貼在無空隙的工具上。

            特征

            • 實現(xiàn)低應(yīng)力粘貼
            • 粘貼條件的各種參數(shù)(粘貼速度,真空度,壓差,大氣釋放速度等)的數(shù)值管理
            • 只需按一下按鈕即可執(zhí)行多個粘貼配方
            • 也可以通過更改設(shè)置來處理不同尺寸的工作
            • TAIKO®*¹用大膠帶將膠帶固定在工件上,例如晶圓
            • 將膠帶粘在易碎且不喜歡粘貼時應(yīng)力的工件上,例如MEMS和超薄晶圓
            • 通過將設(shè)備安裝在我們的全自動設(shè)備上,也可以進行批量生產(chǎn)。
            • 薄膜/膠帶和晶圓/基材的粘合性(作為
              高性能薄膜的層壓板,例如各種保護膜和干膜,作為切割前的晶圓安裝件)
            • 可以使用可選的加熱器粘貼在加熱+真空中
            • 通過使用可選階段,可以粘貼圖案表面而不會發(fā)生接觸。

            日本okk晶圓真空貼片機OVM系列

            規(guī)格

             

            8寸

            12寸

            尺寸

            W500 x D770 x H1010(mm)
            (帶調(diào)節(jié)器)

            W613 x D873 x H1035(mm)
            (帶調(diào)節(jié)器)

            重量

            約110公斤

            約150kg

            配方設(shè)定

            從10種類型中選擇

            從10種類型中選擇

            適應(yīng)性工作

            2
            英寸至8英寸晶圓,基板等5英寸至8英寸劃片框

            8inch。12inch晶圓,基板等
            8inch。12inch切割框

            對應(yīng)膠帶

            各種膠帶

            各種膠帶

            真空源

            干泵

            干泵

            干燥的空氣

            0.5Mpa以上150L / min(ANR)

            0.5Mpa以上150L / min(ANR)

            電源

            AC200V 50 / 60Hz 15A(三相)

            AC200V 50 / 60Hz 15A(三相)

             


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