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            Product center

            spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

            發(fā)布時間:2023-05-30 點擊量:501

            spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

            使用小型卡爾蔡司光譜儀,根據(jù)形狀和尺寸對每種應用進行樣品包裝。
            從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體,如果同時使用顯微光學系統(tǒng),則可以將光線縮小到細點,并輕松測量樣品的薄膜厚度。

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            可測量樣本示例

            • 硅、氧化硅、氮化硅

            • 砷化鎵

            • 二氧化鈦

            • 光刻 膠

            • 染料膜、油膜和彩色濾膜

            • 影片

            • 涂料和粘合劑

            • 紫外光固化樹脂

            • 金屬氧化膜、介電膜

            • 聚合體

            • 空氣層

            • 光盤、中藥、光盤

            以1200mm薄膜厚度測量包為例,我們將介紹Enplanner。
            該系統(tǒng)可以測量長薄膜的薄膜厚度線輪廓。 安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測量單元的最大行程為 1200 mm,可移動并測量薄膜厚度。 圖表顯示在顯示屏上,可以保存和打印測量數(shù)據(jù)。

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            產(chǎn)品規(guī)格

            測量厚度范圍0.5-100um(光學厚度)實際厚度是將上述除以折射率得到的值
            保障區(qū)域傳感器、急停開關、聯(lián)鎖
            測量時間15分鐘,1200毫米
            權(quán)力AC100V?50,60Hz?5A以下
            測量位置設置在 0 到 1200 mm 之間,間距為 1 mm
            寬度分辨率0.1-200mm可任意設定
            寬度位置精度±0.02毫米
            設置波長范圍400-1000納米
            設置發(fā)光部分5倍物鏡
            測量光斑直徑φ1毫米


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