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            產品中心

            Product center

            日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500

            發(fā)布時間:2020-11-20 點擊量:1011

            日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860

            氧氣表MS-500

            • 多可以同時測量8個點
            • 可以顯示從ppm級到100%的多種濃度。
            • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
            • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
            • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

            MS-500設備規(guī)格

            測量原理

            氧化鋯輕型電池

            形狀

            分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

            顯示方式

            4位數字顯示(密度顯示)

            測量范圍

            0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
            自動范圍

            重復性

            在±0.5%FS 0-1%范圍內或更高
            ±1%FS以下或≤±
            0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內,atm范圍超出保證的濃度

            測量點數

            1-8

            樣氣條件

            壓力

            10 -3至200 KPa(壓力)

             

            流量

            0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態(tài)的測量)

             

            濕度

            露點低于環(huán)境溫度

             

            溫度

            0-100℃

             

            其他

            不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

            比較氣

            大氣層

            記錄儀輸出

            僅變速箱輸出

            變速箱輸出

            RS-232C

            報警輸出

            沒有

            熱身時間

            6分鐘以內

            尺寸

            MS-500(控制器)

            92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

             

            MS-510(轉換器)

            100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

             

            傳感器單元

            SD16NW

            總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

             

             

            SD25NW

            總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

             

             

            SD40NW

            總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

            大眾

            MS-500(控制器)

            約0.6Kg

             

            MS-510(轉換器)

            約0.5kg

             

            傳感器單元

            SD16NW

            約0.2Kg

             

             

            SD25NW

            約0.2Kg

             

             

            SD40NW

            約0.35Kg

            外部連接

            真空法蘭之一(NW16、25、40)

            使用電源

            24VDC±10%

            氧氣計LC-450A,LC-450D


            • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100%。
            • 改進的傳感器耐用性
              氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
            • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
              * LC-450D由24V DC驅動
            • 緊湊且易于安裝
              深度比我們的傳統型號還要短,并且不會占用太多空間。
            • 符合RoHS的產品
            • CE標志自我聲明產品
              EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

            LC-450A設備規(guī)格

            測量原理

            氧化鋯輕型電池

            形狀

            桌面型/面板安裝型

            顯示方式

            4位數字顯示(密度顯示)

            測量范圍

            0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍

            重復性

            在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍

            取樣方式

            內置泵的連續(xù)吸入型

            樣氣條件

            壓力

            加壓30 KPa以下

             

            流量

            1,000-2,000毫升/分鐘

             

            濕度

            露點低于環(huán)境溫度

             

            溫度

            0-50℃

             

            其他

            不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

            比較氣

            大氣層

            記錄儀
            輸出

            氧氣濃度輸出

            在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負載電阻550Ω或更小
            記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度

             

            輸出范圍

            0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍

            變速箱輸出

            RS-232C

            報警輸出

            失敗(設備錯誤)

            1分

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
            設備異常導致接點閉合(可以更改接點操作)

             

            ALM(濃度警報)

            2點(H / L)

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
            發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)

             

            RDY(預熱信號)

            1分

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下

            · 無電壓觸點的小開關容量為12V或更高,并且無法承受微小的負載。

             

            MRK(范圍標記)輸出

            2分

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下

            熱身時間

            5分鐘以內

            尺寸

            身體

            210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)

            大眾

            約6kg

            氣體
            連接口

            進口

            Rc1 / 4

             

            旁路輸出

            Rc1 / 4

             

            出口

            Rc1 / 4

            使用電源

            100-240VAC,50VA(穩(wěn)定:35VA)50Hz / 60Hz

            LC-450D設備規(guī)格

            測量原理

            氧化鋯輕型電池

            形狀

            桌面型/面板安裝型

            顯示方式

            4位數字顯示(密度顯示)

            測量范圍

            0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍

            重復性

            在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍

            取樣方式

            內置泵的連續(xù)吸入型

            樣氣條件

            壓力

            加壓30 KPa以下

             

            流量

            ?1,500L /分鐘

             

            濕度

            露點低于環(huán)境溫度

             

            溫度

            0-50℃

             

            其他

            不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

            比較氣

            大氣層

            記錄儀
            輸出

            氧氣濃度輸出

            0-10VDC,絕緣,負載電阻600kΩ或更高
            (選件:4-20mA DC,絕緣,負載電阻550Ω或更低)
            記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度

             

            輸出范圍

            0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍

            變速箱輸出

            RS-232C

            報警輸出

            失敗(設備錯誤)

            1分

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
            設備異常導致接點閉合(可以更改接點操作)

             

            ALM(濃度警報)

            2點(L / LL)

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
            發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)

             

            RDY(預熱信號)

            1分

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
            在預熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)

            · 非電壓觸點的小開關容量為12V或20mA或更高,并且無法承受微小的負載。

             

            MRK(范圍標記)輸出

            2分

            非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下

            熱身時間

            5分鐘以內

            尺寸

            身體

            240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)

            大眾

            約5kg

            氣體
            連接口

            進口

            Rc1 / 8

             

            旁路輸出

            Rc1 / 8

             

            出口

            Rc1 / 8

            使用電源

            24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài))

            氧氣計LC-860

            LC-860

            • 低濃度測量
              可以測量ppb到100%
            • 操作簡便
              按功能可輕松操作
            • 吹掃功能
              比較氣體更穩(wěn)定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
            • 高可靠性傳感器傳感器
              內部還可以進行防劣化處理(可選)

            LC-860設備規(guī)格

            測量原理氧化鋯輕型電池
            形狀桌面型/面板安裝型
            顯示方式6位數字顯示(密度顯示)
            測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
            自動/固定范圍
            重復性
            氧氣濃度在±1%FS之內且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
            取樣方式內置泵的連續(xù)吸入型
            樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
            流量?1,500mL /分鐘
            濕度露點低于環(huán)境溫度
            溫度0-50℃
            其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
            比較氣大氣層
            記錄儀
            輸出
            氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
            :絕緣,負載電阻為600Ω或更低
            0-10V:絕緣,負載電阻為500Ω或更高
            記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
            輸出范圍0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動/固定范圍的任意4個范圍
            變速箱輸出RS-232C
            報警輸出失敗(設備錯誤)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
            由于設備異常,觸點閉合(可以更改觸點操作)
            ALM(濃度警報)2分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
            發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改觸點操作)
            RDY(預熱信號)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小
            預熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
            • 無電壓觸點的小開關容量為12V或更高,并且不能承受微小的負載。
            MRK(范圍標記)輸出3分非電壓接點,接點容量24VDC / AC以下,0.1A以下
            熱身時間20分鐘以內
            尺寸身體288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
            大眾約10kg
            氣體
            連接口
            進口Rc1 / 8
            旁路輸出Rc1 / 8
            出口Rc1 / 4
            使用電源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的
            性禁播20部电影国产_一级欧美变态另类片xxx_午夜影院一区二区三区_国产精品中文久久久久久_来一水AV@lysav

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